Typ produktu |
Česká technická norma (ČSN) |
Oznaèení zákl. dokumentu |
ČSN EN ISO 14644-10 |
Zmìna/oprava/svazek |
|
Tøídicí znak |
125301 |
Katalogové èíslo |
515524 |
Název dokumentu |
Čisté prostory a příslušná řízená prostředí - Část 10: Klasifikace čistoty povrchů podle koncentrace chemických látek |
Anglický název |
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination |
Datum vydání |
01.11.2022 |
Datum ukonèení platnosti |
|
Datum úèinnosti |
01.12.2022 |
Vìstník vydání (mìs/rok) |
11/22 |
Vìstník zrušení |
|
Zpùsob vydání |
ve věstníku |
Zpùsob pøevzetí originálu |
vyhlášením |
Bude pøeložena |
Ne |
Použité jazyky |
|
ICS kódy |
13.040.35 - Čisté prostory a příslušné řízené prostředí
|
Subsektor |
|
Deskriptory |
|
Klíèová slova |
|
Harmonizace/Urèení |
Informace o harmonizovaných a urèených normách jsou zveøejnìny v Databázi harmonizovaných norem
|
Zapracované dokumenty |
Oznaèení | Rok vydání |
EN ISO 14644-10 | 2022 |
ISO 14644-10 | 2022 |
|
Zmìny |
|
Opravy |
|
Nahrazuje dokumenty |
Katalogové èíslo | Oznaèení | Rok vydání |
92874 | ČSN EN ISO 14644-10 | 2013 |
|
Byla nahrazena dokumenty |
|
Anotace |
ČSN EN ISO 14644-10 (12 5301) This document establishes appropriate testing processes to determine the cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). This document is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, worksurfaces, tools, equipment and devices. NOTE 1 - For the purpose of this document, consideration is only given to the chemical characteristics of a particle. The physical properties of the particle are not considered and this document does not cover the interaction between the contamination and the surface. NOTE 2 - This document does not include the contamination generation process or any time-dependent influences (e.g. deposition, sedimentation, ageing) or process-dependent activities such as transportation and handling. Neither does it include guidance on statistical quality-control techniques to ensure compliance. |